公司名称：苏州高控科技有限公司
PlanarHD气浮平台 发布时间：2023年11月25日
详细说明
PlanarHD气浮平台
1*大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2*快的转向和*小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm
更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健186（1288）599
1*大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2*快的转向和*小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm
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苏州高控科技有限公司
联系人：王晓春 先生 (销售经理)
电 话：015810269808
传 真：
手 机：15810269808
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邮 编：
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